机械电气与航空航天学院开展“微机电系统在机械工程中的应用”专题讲座
2026年9月22日，机械电气与航空航天学院银龄教师、电子科技大学微电子学与固体电子学博士、电子薄膜与集成器件国家重点实验室博士后、四川省集成电路产业联盟和成都市集成电路产业协会专家、成都信息工程大学教授聂海在学院开展“微机电系统在机械工程中的应用”专题讲座。
讲座中聂海教授向2024级机械电子工程专业同学介绍了微机电系统传感器分类、硅基MEMS制造技术、非硅基MEMS制造技术等前沿知识，极大丰富了同学们对微机电系统的理解和认知。
图 文：王靖煜
一审一校：张劲松
二审二校：褚晓锐
三审三校：张 谊
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